测量精度根据 IPC 9850 在校准测量板上进行验证。该系统符合其中针对指定工艺限值所规定的测量设备能力和可重复性要求。

 

测量任务 可检测的工艺限值
x/y [µm] theta [°]
TQFP100 10 0.07
0603 芯片 20 1.00
SOIC16 25 3.00