La précision de mesure est vérifiée sur une plaque de mesure calibrée conformément à la norme IPC 9850. Le système satisfait aux exigences qui y sont définies en matière de capacité et de reproductibilité des appareils de mesure pour les limites de processus spécifiées.

 

Tâche de mesure Limites de processus vérifiables
x/y [µm] thêta [°]
TQFP100 10 0,07
Puce 0603 20 1,00
SOIC16 25 3,00