La precisión de la medición se verifica en una placa de medición calibrada según IPC 9850. El sistema cumple con los requisitos allí establecidos para la capacidad y reproducibilidad de los dispositivos de medición para los límites de proceso especificados.
| Tarea de medición | Límites de proceso demostrables | |
| x/y [µm] | theta [°] | |
| TQFP100 | 10 | 0,07 |
| Chip 0603 | 20 | 1,00 |
| SOIC16 | 25 | 3,00 |

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