Die Messgenauigkeit wird auf einer kalibrierten Messplatte gemäß IPC 9850 überprüft. Das System erfüllt die dort festgelegten Anforderungen an Messgerätefähigkeit und Reproduzierbarkeit für die angegebenen Prozessgrenzen.

 

Messaufgabe Nachweisbare Prozessgrenzen
x/y [µm] theta [°]
TQFP100 10 0,07
0603 Chip 20 1,00
SOIC16 25 3,00